化学机械研磨造句

1、半导体制程技术包括氧化、扩散、热处理、合金化、再流动制程、铜制程及化学机械研磨制程简介。

2、利用一化学机械研磨制程，移除该氧化物层的部分区域，以使该填满沟槽的氧化物层与该第一多晶硅层大体上齐平。