扫描机构造句

垂直扫描机构是单晶片离子注入机靶盘的支撑部件，起着将高速直线运动从靶室外传递到靶盘的作用。

通过对双模式紫外光谱辐*计中波长扫描机构的系统误差进行分析和计算，确定仪器的波长读数精度值。