硅倍半氧*造句

本发明涉及聚硅氧*（硅倍半氧*）和含有所述聚硅氧*的光致抗蚀剂的新合成方法。

介绍了聚有机硅倍半氧*的合成方法及其在涂层材料中的应用。

针对国内的研究现状，指出低聚硅倍半氧*-聚合物杂化体系研究所存在的问题。