柯勒照明造句

接近式光刻中一般采用柯勒照明系统，并采用蝇眼透镜形成多点光源均匀掩模面的光场分布。

该光学系统分为成像系统和照明系统两部分，并分别利用远心光路和柯勒照明方式对其进行了详细地设计。

用于视网膜成像的眼底相机由两部分组成，其一是具有正调焦镜的成像光路，另一是环形的柯勒照明光路。